激發(fā)光源不激發(fā)：
1、火花臺連鎖開關無閉和。（將火花臺外殼卸開清潔火花臺后裝入時，外殼左邊的突出物應將火花臺后部的微動開關壓住，激發(fā)光源即可處于準備工作狀態(tài)）。此故障現(xiàn)象只限于GS1000型。
2、在按下START鍵后氣動壓頭無下壓夾持樣品動作，造成激發(fā)光源不激發(fā)。（此現(xiàn)象為氬氣對氣動壓頭無供氣。檢查氬氣瓶壓力。）
3、在按下START鍵后，氣動壓頭將樣品夾持住后即抬起，激發(fā)光源不激發(fā)。（此現(xiàn)象為氣動壓頭在接觸樣品時，樣品非處理面導電性不好。建議使用一個薄的紫銅片作為兩者之間的導體。應保證樣品的非處理面無水，油，氧化層等妨礙導電的介質）。
4、在按下START鍵后，氣動壓頭將樣品夾持住后在氬氣沖洗階段樣品向上跳起，氣動壓頭即抬起，光源不激發(fā)。（此現(xiàn)象為氬氣廢氣管嚴重堵塞，請清潔氬氣廢氣管）。
5、在激發(fā)樣品時聽不到清脆的激發(fā)光源頻率的聲音，只聽到很微小的斷續(xù)放電的聲音，激發(fā)程序結束后樣品被激發(fā)面無放電斑痕。（此現(xiàn)象為在放置樣品時不小心將大塊的具有導電性質的金屬物掉入激發(fā)臺內(nèi)，請馬上清潔激發(fā)臺。將具有導電性質的金屬物取出即可恢復激發(fā)光源的正常工作）。

標準化系數(shù)偏高（短波元素或基體元素Factor系數(shù)>1.4）:
1、擦洗透鏡。使用分析用丙酮將透鏡表面的黃色附著物小心擦洗掉，以看不到黃色附著物為止。此為標準化系數(shù)偏高的主要原因。
2、外接氬氣純度偏低或氬氣流量不足（氬氣表顯示低于0.3Mpa）。
3、隨機配備高低標校準樣品在樣品制備時激發(fā)表面處理不好。

處理以上三項中的任意一項均必須重新進行完全標準化工作。

分析數(shù)據(jù)全部為零
1、擦洗透鏡后未將透鏡后的球閥扳為180度，將光路完全擋住。（此故障現(xiàn)象只限于QSN750,QSG750型）。
2、在擦洗透鏡后不要馬上分析樣品。是因為儀器真空檢測未達到正常值，此時負高壓電源自動斷開。擦洗透鏡后等待五分鐘即可正常工作。另外在GS1000型儀器上蓋處于開啟狀態(tài)時激發(fā)樣品也會出現(xiàn)此種現(xiàn)象。

分析數(shù)據(jù)不穩(wěn)定
1、在發(fā)現(xiàn)數(shù)據(jù)不穩(wěn)定時，首先要確認儀器的外圍設施是否正常。例如氬氣的純度，壓力是否正常，在更換氬氣時管道是否漏氣。樣品制備是否有問題。
2、根據(jù)激發(fā)斑點的形狀及大小即可判斷氬氣純度是否有問題。
3、如激發(fā)斑點無問題，使用一塊標準樣品激發(fā)幾次可看重現(xiàn)性即可確認是否分析樣品本身的均勻性不好，存在偏析現(xiàn)象。
4、分析樣品在制備時是否存在裂紋，砂眼等影響分析結果的現(xiàn)象。
通常引起分析數(shù)據(jù)不穩(wěn)定的主要原因是氬氣的純度。一般情況下鑄鐵，鑄鋁及高純金屬等材質需使用99.999%純度的氬氣。